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設(shè)備DH6A—MPCVD

半導體級MPCVD設(shè)備

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西安德盟特半導體科技有限公司

陜西

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

德盟特

型號：

半導體級MPCVD設(shè)備

關(guān)注度：

861

產(chǎn)品介紹

常規(guī)配置及參數(shù)
電源輸入:三相 380V (±10%), 15KVA
微波電源功率:6KW（2.45GHz）
樣品臺:8英寸水冷銅臺
腔體生長壓力:10-200Torr
氣體管路:標配4路（H2、O2、CH4、N2）
反應腔體:臥式蝶形上翻蓋金屬水冷腔體
（帶4個觀察窗）
主機柜尺寸:900mm(W)×850mm(D)×1680mm(H)
（約320Kg）
控制柜尺寸:570mm(W)×850mm(D)×1800mm(H)
（約240Kg）


產(chǎn)品咨詢

設(shè)備DH6A—MPCVD

半導體級MPCVD設(shè)備

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