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美國(guó)SVT線性蒸發(fā)源/線性束流源

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美國(guó)SVTA公司中國(guó)辦事處

美國(guó)

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產(chǎn)品介紹

SVT線性蒸發(fā)源適用于太陽(yáng)能電池和OLED生產(chǎn)的in-line和roll to roll制程工藝。

線源和體蒸發(fā)源相比，蒸發(fā)溫度更高（>1，500^oC）。

線性分布的分流口可使整個(gè)襯底長(zhǎng)度均勻被覆蓋。

**的分流口設(shè)計(jì)避免了材料飛濺和缺陷生長(zhǎng)。

此源還可以通過(guò)調(diào)節(jié)光闌來(lái)調(diào)出**束流。

特點(diǎn)

分流口式生長(zhǎng)提高大面積移動(dòng)襯底的薄膜均一性

獨(dú)立的加熱區(qū)域，便于精確控制

差分噴口可更換，便于調(diào)整束流形狀

源容量大，適于長(zhǎng)期生長(zhǎng)

加熱溫度高，因此沉積速率高

**體蒸發(fā)溫度	1，500^oC
分流口**溫度	1，600^oC
源溫度穩(wěn)定性	+/- 0.1^oC
束流穩(wěn)定性	<1%
**操作環(huán)境壓強(qiáng)	5X10^-5Torr
沉積均一性	+/-4%(源與襯底距離300mm)
熱偶類型	C型 (K型可選)
冷卻時(shí)間	100^oC<120分鐘
電接插件	燈絲：Amphenol環(huán)形燈絲 T/C:Omega亞微型
烘烤溫度	200^oC
冷卻水接頭	2 X ¹/₄’’ VCR (一進(jìn)一出)
**水壓	80psi
水流速率	500ml/min

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