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電子束系統

定制-電子束系統

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廈門毅睿科技有限公司

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毅睿/芯壹方

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定制-電子束系統

關注度：

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電子束系統


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Description:

●專為金屬、電介質、氧化物、半導體和合金的沉積而設計，用于研發實驗室和試生產應用

●可配置離子束清洗和離子輔助沉積(IAD)的離子源

●可實現<+/-3%的均勻沉積

●系統可配備不同的真空泵，用于高壓和超高壓

●多功能、操作簡便、長期可靠，適用于單層和多層薄膜蒸發


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