粉體行業在線展覽
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12英寸雙軸全自動刀輪切割設備
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廣東大族半導體裝備科技有限公司
廣東
面議
大族半導體
12英寸雙軸全自動刀輪切割設備
310
主要特點：
1、高精度：針對半導體行業的高精度設計
2、自動校準：搭載自動對焦、自動對準、刀痕識別及崩邊檢測等圖像處理功能
3、對向式主軸：2.2KW，60000rpm，大功率，直流軸,多種切割模式可選，并配有更方便的數據管理和日志管理，隨時監控生產狀況
4、全自動集成：全自動上下料、對準、切割、清洗、無人化值守，并可遠程監控完成
主要參數:
| 主軸 | 轉速 rpm | 10000-60000 | 對準系統 | 照明光源 | 同軸+環形 |
| 輸出功率 kw | 2.2/2.4 | 鏡頭放大倍率 | 6X + 0.8X | ||
| X軸 | 有效行程 mm | 500 | 顯示器 | 17寸觸摸屏 | |
| 劃切速度 mm/s | 0.01-600 | 操作系統 | 控制系統 | GALIL運動控制卡 | |
| Y軸 | 有效行程 mm | Max315 | 操作系統 | Windows 7 | |
| 單步精度 mm | 0.001/5 | 語言 | 中文 | ||
| 累積誤差 mm | 0.003/315 | 加工尺寸 | 工作尺寸 | Max?12″或□300X300 | |
| Z軸 | 有效行程 mm | Max30 | 圓形工作臺 | Max?12″ | |
| 重復定位精度 mm | 0.001 | 方形工作臺 | 300mmX300mm | ||
| **刀具尺寸 mm | ?58 | 電源 | 電源 | 三相AC380V±10% | |
| T軸 | 轉角范圍 deg | Max380 | 氣源 | 壓縮空氣壓力 | 0.5-0.7 Mpa |
| 重復定位精度 deg | ±0.001 | 壓縮空氣耗氣量 | 500L/min | ||
| 功能 | 自動對準 | 標配 | 水源 | 切割水流量 | 11.0 L/min |
| 刀痕自動檢測 | 標配 | 主軸冷卻水流量 | 4.0 L/min | ||
| 位置自動修正 | 標配 | 外形尺寸 | 體積 mm | 1260x1780x1950 | |
| NCS測高 | 選配 | 凈重 kg | 約2100 |
加工效果：
6英寸半自動刀輪切割設備
AOI濾光片檢測設備
Mini LED專用切割設備
半導體晶圓級分選編帶設備
碳化硅裂片機
12英寸半自動刀輪切割設備
精密激光切割機
飛秒激光增強玻璃蝕刻通孔機（FLEE-TGV）
全自動激光打孔機
12英寸雙軸全自動刀輪切割設備
全自動晶圓ID打標設備
全自動激光（IC）打標設備
