粉體行業(yè)在線展覽
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飛秒激光增強玻璃蝕刻通孔機（FLEE-TGV）
直接聯(lián)系
廣東大族半導體裝備科技有限公司
廣東
面議
大族半導體
飛秒激光增強玻璃蝕刻通孔機（FLEE-TGV）
315
主要特點：
設(shè)備特點：
1、國內(nèi)率先導入TGV工業(yè)量產(chǎn)
2、加工直徑**12’’、厚度≤1mm
3、高性能、高可靠性飛秒激光
4、高性能控制系統(tǒng)，實現(xiàn)高效率高精度加工能力
5、搭載自主研發(fā)光學模組，適應(yīng)多種材料，孔圓度≥95%
6、多種軌跡生成與加工方式，智能化人機交互
主要參數(shù):
| 主要參數(shù) | 加工尺寸 | ≤205*205mm |
| 加工速度 | 80-120mm/s | |
| 加工精度 | ±5μm | |
| 平臺參數(shù) | 400mm*250mm | |
| 激光器參數(shù) | 20W IR PS | |
| Tact time | 效率：≥650個/S | |
| 稼動率 | 0.98 | |
| 良率 | >98% |
加工效果：
6英寸半自動刀輪切割設(shè)備
AOI濾光片檢測設(shè)備
Mini LED專用切割設(shè)備
半導體晶圓級分選編帶設(shè)備
碳化硅裂片機
12英寸半自動刀輪切割設(shè)備
精密激光切割機
飛秒激光增強玻璃蝕刻通孔機（FLEE-TGV）
全自動激光打孔機
12英寸雙軸全自動刀輪切割設(shè)備
全自動晶圓ID打標設(shè)備
全自動激光（IC）打標設(shè)備
定制5臺機連體配套
SEM5000X
防爆觸摸屏/防爆電腦/防爆電腦
金屬回收系統(tǒng)
熱風循環(huán)烘箱CT-C系列
自動吸盤振動器離心式G08T
酒精回收塔
低溫催化LCO
干燥機控制
智能控制系統(tǒng)
PicoFemto掃描電鏡原位光電力一體化系統(tǒng)
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