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產品型號：

TOF-SIMS

產品介紹：

PHI nanoTOF3 能夠提供高質量分辨和高空間分辨的TOF-SIMS分析 ：在高質量分辨模式下，其空間分辨率優于500 nm；在高空間分辨模式下，其空間分辨模式優于50 nm。通過結合高強度離子源、高精度脈沖組件和高分辨率質量分析器，可以實現低噪聲、高靈敏度和高質量分辨率的測量。

產品特性：

1. 先進的離子束技術實現高空間分辨率

2. Triple Ion Focusing Time-of-Flight (TRIFT) —— 三重離子束聚焦質量分析器

3. 寬帶通能量、寬立體接受角度 —— 適用于各種形貌樣品分析

4. 全新的全自動樣品傳送系統

5. Queue Editor實現多樣品自動測試

6. 采用新開發的脈沖氬離子槍

7. 獲得**的自動荷電雙束中和技術

8. 標配離子槍新增FIB(Focused Ion Beam)功能

9. MS/MS平行成像同時采集MS1/MS2數據（**）

10. 遠程訪問實現對儀器的遠程控制

11. 兼容多種儀器的樣品傳送管

12. 進樣室手套箱

13. 加熱和冷卻樣品臺

14. 用于曲面分析的樣品臺（**）

15. 氬團簇離子槍

16. 銫離子槍和氬/氧離子槍

產品技術參數：