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使用空間 (mm)

Φ200×300

Φ300×400

Φ400×1000

Φ500×1000

Φ600×1000

**容積（L）

9

28

125

196

282

加熱功率

100 KW

160 KW

200 KW

250 KW

300 KW

頻率

2000 Hz

2000 Hz

2000 Hz

1500 Hz

1500 Hz

**工作溫度

3000°C

溫度均勻性

( 在 1000°C和2200°C間)

±10°C

極限真空度

1.2×10^-3 mbar

可選高真空

5×10^-5 mbar

**升溫速率

15°C/min (RT~1500°C), 10°C/min (1500°C~2500°C), 5°C/min (2500°C~3000°C)

壓力上升

6.7×10^-3 mbar/hr

工作氣氛

高真空（可選）/ 真空/ 惰性氣體（氬氣或氮氣）

真空和高真空氣氛僅允許在 2200°C以下

供電

3P, 380V, 50Hz/60Hz

冷卻水壓力

1.5～2.5 bar

冷卻水溫度

≤28 °C