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山東力冠

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LPCVD立式爐

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202

產(chǎn)品介紹

image.png半導(dǎo)體集成電路制造的重要設(shè)備之一，主要用于POLY, D-POLY, SiN,TEOS。

LPCVD equipment is one of the important equipments for semiconductor integrated circuit manufacturing,which is mainly used for the growth of LP-POLY,LP-DPOLY,LP-SiN，LP-TEOS thin films.


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