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LPCVD臥式爐

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山東力冠微電子裝備有限公司

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山東力冠

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LPCVD臥式爐

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image.pngLPCVD設備是半導體集成電路制造的重要設備之一，主要用于POLY, D-POLY, SiN,TEOS。


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