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MOCVD 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備

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直接聯(lián)系

鵬城微納技術(shù)(沈陽)有限公司

沈陽

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

鵬城微納

型號:

MOCVD 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備

關(guān)注度:

1313

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品詳情

MOCVD 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備

可用于GaN、ZnO等的外延生長。

材料的輸運(yùn)采取了超純的氣路系統(tǒng),源的切換和輸入采用了多路組合閥進(jìn)氣技術(shù)。由于組合閥具有極小的死空間,使得源的殘留量非常少,有利于生長具有陡峭界面的材料。


采用壓差控制技術(shù)控制組合閥的旁路和主路之間的壓力,大大降低了源的壓力和濃度波動,有利于材料生長的重復(fù)性和穩(wěn)定性。


采用了管道鑲嵌式進(jìn)氣噴頭,使反應(yīng)源在襯底表面均勻混合并反應(yīng),大大降低了預(yù)反應(yīng)的發(fā)生。


采用電阻式快速升降溫加熱爐。


產(chǎn)品咨詢

MOCVD 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備

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MOCVD 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備 - 1313
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