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抽氣速率Pump speed（50/60HZ）

L/S

27/33

55/70

66/84

104/125

150/180

185/222

277/333

m3/h

100/120

200/250

240/300

375/450

540/650

667/800

1000/1200

極限壓力 Ultimaate Pressure

Torr

7.5*10-3

mbar

1*10-2

Pa

1

馬達 Motor

額定功率 Rated power

Kw

4

5.5

7.5

11

15

18.5

30

底壓功率 Ultimate Pressure Power

Kw

3.5

6.2

6.2

6

7.3

7.9

11