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>MR系列半導體

MR系列半導體

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蘇州銳昇聚創科技有限公司

江蘇

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

銳昇聚創

型號：

MR系列半導體

關注度：

291

產品介紹

MR系列

專為LL 工藝設計。

抽氣速率：100-180m3/h

**小的體積 **的功耗

**經濟的維修保養費用

項 目                  機型

單位

MR100

MR180

抽氣速率Pump spoodx50/601

L/min

1660

3000

極限壓力Utimoate Pressure

Pa

1.5

底壓功率UItimate Prossure Power

KW

0.7

1

管路連接

Connection

入氣口


KF50

KF50




KF25

KF25

冷卻水

Cooling water


L/MIN

2-3


溫度 Temp

℃

10-25

尺寸Dim.

長x率×高

mm

450×230×275

550×280×299

重量Weight

kg

60

95


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