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大口徑真空壓力調(diào)節(jié)器（真空背壓閥）：EVR系列

Eyoung Vacuum Regulator（EVR Series）

—— 負(fù)壓和正壓調(diào)節(jié)、口徑1/8"~4"、高速精密、手動(dòng)或電子控制

一、簡(jiǎn)介

EVR系列調(diào)節(jié)器是一種常閉調(diào)壓型真空壓力調(diào)節(jié)裝置，可直接對(duì)氣密性容器的真空壓力（負(fù)壓或正壓）進(jìn)行高速調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)方式采用頂部氣控先導(dǎo)閥，先導(dǎo)閥可采用手動(dòng)和電子控制形式。

EVR系列產(chǎn)品是專(zhuān)門(mén)為大口徑和快速控制等工業(yè)應(yīng)用需求所設(shè)計(jì)的高速真空壓力調(diào)節(jié)器，如各種CVD、聚合物精密成型和精密真空蒸餾等工藝，是目前常用進(jìn)口高速電動(dòng)閥門(mén)（MKS、CDK和VAT等蝶閥）的國(guó)產(chǎn)化替代產(chǎn)品。

EVR系列產(chǎn)品可配各種手動(dòng)和電子控制形式的先導(dǎo)閥，可形成開(kāi)環(huán)和閉環(huán)控制回路。通過(guò)外接真空計(jì)并與依陽(yáng)公司VPC2021系列真空壓力控制器相結(jié)合，可構(gòu)成閉環(huán)形式快速高精度可編程真空控制回路。

二、技術(shù)指標(biāo)和尺寸

三、特點(diǎn)

（1）大口徑和快速響應(yīng)，可滿足真空工藝中對(duì)快速控制的要求。
（2）免拆裝式的閥芯更換方式，便于有污染真空工藝中EVR調(diào)節(jié)器的維護(hù)。
（3）整個(gè) EVR系列調(diào)節(jié)器都可以采用同款小尺寸先導(dǎo)閥進(jìn)行氣控驅(qū)動(dòng)。
（4）可應(yīng)用在高溫場(chǎng)合，先導(dǎo)閥可布置在較遠(yuǎn)位置，耐溫只取決于密封材料。
（5）可應(yīng)用在強(qiáng)腐蝕場(chǎng)合，甚至一些對(duì)FFKM有溶脹的場(chǎng)合（如二氧化碳和溴化鋰等）。
（6）通過(guò)連接真空源和壓力源以及快速切換，可進(jìn)行負(fù)壓或正壓的單獨(dú)控制以及正負(fù)壓過(guò)程的連續(xù)控制。
（7）可進(jìn)行防爆設(shè)計(jì)和操作，先導(dǎo)閥與EVR系列調(diào)節(jié)器可遠(yuǎn)距離分離，避免先導(dǎo)閥的電磁干擾。

四、應(yīng)用

（1）CVD工藝中MKS下游排氣高速節(jié)流閥的國(guó)產(chǎn)化替代方案及產(chǎn)品

（2）工業(yè)減壓蒸餾工藝中大流量耐腐蝕快響應(yīng)精密真空控制的解決方案

（3）低壓與高壓（負(fù)壓與正壓）之間的真空壓力連續(xù)控制解決方案

（4）呼吸閥檢驗(yàn)裝置中的正負(fù)壓連續(xù)精密控制解決方案

（5）快速響應(yīng)的大口徑背壓閥在聚合物擠出機(jī)定徑箱真空度精密控制中的應(yīng)用

（6）電氣比例閥作為先導(dǎo)閥結(jié)合真空背壓閥和外置傳感器實(shí)現(xiàn)低氣壓控制的考核試驗(yàn)

（7）真空釬焊爐中大流量正負(fù)壓循環(huán)控制的解決方案

（8）溫度敏感材料干燥過(guò)程中的真空度精密控制解決方案

（9）工業(yè)應(yīng)用中0.1%超高精度PID控制器的實(shí)現(xiàn)及其關(guān)鍵指標(biāo)分析

（10）表壓0.1~0.6MPa范圍內(nèi)0.1?%超高精度壓力控制解決方案及其考核試驗(yàn)結(jié)果