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碳化硅激光垂直剝離設備

碳化硅激光垂直剝離設備

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北京晶飛半導體科技有限公司

北京

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品牌：

北京晶飛

型號：

碳化硅激光垂直剝離設備

關注度：

449

產品介紹

加工材料 SiC晶錠

切割尺寸(inch) 4/6/8/

**切割厚度(mm) 50

材料損耗 100-160um

切割效率(min) 6寸:15-25 8寸:35-45

重復定位精度(μm) ±0.5

長寬高(mm) 1770×1720×1985

加工工藝

碳化硅激光垂直剝離設備采用的加工工藝是使用激光剝離取代傳統的線切割模式

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加工效果

1剝離后6英寸半絕緣晶錠與晶圓.jpg1垂直剝離后8英寸導電型晶錠與晶圓.jpg
剝離后6英寸半絕緣晶錠與晶圓垂直剝離后8英寸導電型晶錠與晶圓


技術規格

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碳化硅激光垂直剝離設備

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